Сверхчистая вода
Сверхчистая вода
Сверхчистая вода (UPW) – чрезвычайно чистая вода, из которой с помощью различных процессов водоподготовки были удалены ионные/неионные примеси. С развитием электронной промышленности (полупроводники и дисплеи) требования к процессу очистки стали более точными, и качество требуемой сверхчистой воды также становится все более строгим.
Процесс производства сверхчистой воды обычно состоит из системы предварительной очистки, системы подпитки (первичная система) и системы очистки (вторичная система). Смолы TRILITE для сверхчистой воды производятся специальным образом при строгом контроле качества и с использованием самых современных технологий.
Преимущества смол TRILITE для сверхчистой воды
- Чрезвычайно низкий коэффициент однородности (менее 1,1) обеспечивает превосходную рабочую ёмкость при высокой
скорости рабочего цикла. - Отличная скорость преобразования смол позволяет свести к минимуму утечку ионов (H+ , OH- )
- Строгий контроль TOC (общего органического углерода) и следовых ионов металлов.
Типовой процесс получения сверхчистой воды и рекомендации по выбору ионообменных смол
Смолы TRILITE поставляются в известные системы получения сверхчистой воды, от производства ЖК-дисплеев (компании Samsung Display, LG Display и т. д.) до полупроводников (компании Samsung Electronics, SK Hynix и т. д.), что способствует повышению конкурентоспособности клиентов благодаря стабильному контролю качества и своевременной доставке. Ниже приведены характеристики и рекомендации по применению смол TRILITE для сверхчистой воды в соответствии с требуемым качеством очищенной воды.
| Серия сорта | Катионообменные смолы для сверхчистой воды | Анионообменные смолы для сверхчистой воды | |||||||
| Тип | Сорт | Полн. об. емк. (экв/л) | H + (%) | Тип | Сорт | Полн. об. емк. (экв/л) | OH - (%) | Cl - (%) | |
| Серия UPR100 | Гелевая | UPRC100U | 1.9↑ | 99.0↑ | Гелевая тип 1 | UPRA100U | 1.0↑ | 95.0↑ | 1.0↓ |
| UPRC120U | 2.0↑ | UPRA120U | 1.1↑ | ||||||
| Серия UPR200 | UPRC200U | 1.9↑ | 99.9↑ | UPRA200U | 1.0↑ | 95.0↑ | 1.0↓ | ||
| UPRC220U | 2.0↑ | UPRA220U | 1.1↑ | ||||||
| Серия UPR300 | UPRC300U | 1.9↑ | 99.9↑ | UPRA300U | 1.0↑ | 97.0↑ | 0.1↓ | ||
| UPRC320U | 2.0↑ | UPRA320U | 1.1↑ | ||||||
Смешанная смола для фильтра окончательной очистки является ключевым элементом, определяющим конечное качество сверхчистой воды. Samyang предлагает различные продукты в зависимости от требуемого качества очищенной воды, ниже приведены гарантированные свойства на выходе и характеристики очищенной воды.
| Серия сорта | Серия сорта | Катионо обмен ные | Анионообменные | Условия на выходе | Особенности и применение | |
| H+ (%) | OH- (%) | Cl- (%) | ||||
| Серия UPR100 | UPRM100U | 99.0 ↑ | 95.0 ↑ | 1.0↓ | Гарантированное удельное сопротивление> 17,0 МОм•см Фактическое) Удельное сопротивление> 18,0 МОм•см | Смола для сверхчистой воды с очень высоким удельным сопротивлением, используется в системах подпитки при производстве стандартной электроники и фильтрах окончательной очистки |
| Серия UPR200 | UPRM200U | 99.9↑ | 95.0 ↑ | 1.0↓ | Удельное сопротивление> 18,1 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 5 ppb (за 120 мин) | Смола для сверхчистой воды с очень высоким удел. сопротивлением и низким значением △TOC, используется в системах подпитки при производстве OLED-/ЖК-дисплеев и фильтрах окончательной очистки |
| Серия UPR300 | UPRM300U | 99.9↑ | 97.0↑ | 0.1↓ | Удельное сопротивление> 18,2 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 1 ppb (за 180 мин) | Смола для сверхчистой воды с очень высоким удел. сопротивлением и низким значением △TOC, используется в фильтре финишной очистки при производстве полупроводников |
| Серия UPR400 | UPRM400U | 99.9↑ | 97.0↑ | 0.1↓ | Удельное сопротивление> 18,2 МОм•см (за 30 мин) △TOC <1 ppb (за 180 мин) Металлические примеси (м.д., в пересчете на сухое основание) Na<1, Fe<1, Zn<0,5, Al<0,5, Cu<0,5 | Смола для сверхчистой воды с очень высоким удельным сопротивлением, очень низким значением △TOC и очень низким значением утечки ионов металлов, используется в фильтре окончательной очистки при производстве полупроводников |
Компания Samyang предлагает изготовленные на заказ смолы для сверхчистой воды, отвечающие различным требованиям к качеству очищенной воды.
Смолы серии UPR100 для первичных систем производства сверхчистой воды
| Сорт | UPRC100U | UPRA100U | UPRC120U | UPRA120U | |
| Матрица | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | SAC с однород. разм.частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | |
| Стандартная степень сшивки | Высокая степень сшивки | ||||
| Ионная форма | H+ | OH- | H+ | OH- | |
| Полная емкость (экв/л) | 1.9↑ | 1.0↑ | 2.0↑ | 1.1↑ | |
| Удержание влаги (%) | 50~56 | 62~70 | 45~51 | 59~65 | |
| Средний диаметр (мкм) | 620±50 | 620±50 | 660±50 | 590±50 | |
| Коэффициент однородности | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | |
| Скорость ионной конверсии | H+ (%) | 99.0 ↑ | - | 99.0 ↑ | - |
| OH (%) | - | 95.0↑ | - | 95.0↑ | |
| CI- (%) | - | 1.0↓ | - | 1.0↓ | |
| ↓ | ↓ | ↓ | ↓ | ||
| Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | ||||
| ↓ | ↓ | ||||
| Сорт | UPRM100U | UPRM120U | |||
| Тип | Смешанная смола | ||||
| Условия на выходе 1 | Гарантированное удельное сопротивление> 17,0 МОм•см (за 10 мин) Фактическое удельное сопротивление> 18,0 МОм•см (за 10 мин) | ||||
| Питательная вода: проводимость 10 мкСм/см, выпуск установки обратного осмоса (RO), удельный расход 36 | |||||
| Условия на выходе 2 | Гарантированное удельное сопротивление> 18,0 МОм•см (за 30 мин) | ||||
| Питательная вода: удельное сопротивление 17,5 МОм•см, удельный расход 30 | |||||
Смолы серии UPR200 для вторичных систем производства сверхчистой воды
| Сорт | UPRC200U | UPRA200U | UPRC220U | UPRA220U | |
| Матрица | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | SAC с однород. разм.частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | |
| Стандартная степень сшивки | Высокая степень сшивки | ||||
| Ионная форма | H+ | OH- | H+ | OH- | |
| Полная емкость (экв/л) | 1.9↑ | 1.0 ↑ | 2.0↑ | 1.1↑ | |
| Удержание влаги (%) | 50~56 | 62~70 | 45~51 | 59~65 | |
| Средний диаметр (мкм) | 620±50 | 620±50 | 660±50 | 590±50 | |
| Коэффициент однородности | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | |
| Скорость ионной конверсии | H+ (%) | 99.9↑ | - | 99.9↑ | - |
| OH (%) | - | 95.0↑ | - | 95.0↑ | |
| CI- (%) | - | 1.0↓ | - | 1.0↓ | |
| ↓ | ↓ | ↓ | ↓ | ||
| Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | ||||
| ↓ | ↓ | ||||
| Сорт | UPRM200U | UPRM220U | |||
| Тип | Смешанная смола | ||||
| Условия на выходе | Удел. сопротив. > 18,1 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 5ppb (за 120 мин) | Удел. сопротив. > 18,1 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 5ppb (за 120 мин) | |||
| Питательная вода: удельное сопротивление> 17,5 МОм•см, TOC < 2ppb, удел. расход 30 | |||||
Смолы серии UPR300 для систем финишной очистки при производстве сверхчистой воды
| Сорт | UPRC300U | UPRA300U | UPRC320U | UPRA320U | |
| Матрица | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | |
| Стандартная степень сшивки | Высокая степень сшивки | ||||
| Ионная форма | H+ | OH- | H+ | OH- | |
| Полная емкость (экв/л) | 1.9↑ | 1.0↑ | 2.0↑ | 1.1↑ | |
| Удержание влаги (%) | 50~56 | 62~70 | 45~51 | 59~65 | |
| Средний диаметр (мкм) | 620±50 | 620±50 | 660±50 | 590±50 | |
| Коэффициент однородности | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | |
| Скорость ионной конверсии | H+ (%) | 99.9↑ | - | 99.9↑ | - |
| OH (%) | - | 97.0↑ | - | 97.0↑ | |
| CI- (%) | - | 0.1↓ | - | 0.1↓ | |
| ↓ | ↓ | ↓ | ↓ | ||
| Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | ||||
| ↓ | ↓ | ||||
| Сорт | UPRM300U | UPRM320U | |||
| Тип | Смешанная смола | ||||
| Условия на выходе | Удел. сопротив. > 18,2 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 1ppb (за 180 мин) | Удел. сопротив. > 18,2 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 1ppb (за 180 мин) | |||
| Питательная вода: удельное сопротивление > 17,5 МОм•см, TOC < 2ppb, удел. расход 30 | |||||
Смолы серии UPR400 для систем финишной очистки с минимальной утечкой ионов металлов при производстве сверхчистой воды
| Сорт | UPRC400U | UPRA400U | UPRC420U | UPRA420U | |
| Матрица | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | SAC с однород. разм. частиц, гелевая | SBA с однород. разм. частиц, гелевая, тип 1 | |
| Стандартная степень сшивки | Высокая степень сшивки | ||||
| Ионная форма | H+ | OH- | H+ | OH- | |
| Полная емкость (экв/л) | 1.9↑ | 1.0 ↑ | 2.0↑ | 1.1↑ | |
| Удержание влаги (%) | 50~56 | 62~70 | 45~51 | 59~65 | |
| Средний диаметр (мкм) | 620±50 | 620±50 | 660±50 | 590±50 | |
| Коэффициент однородности | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | 1.1↓ | |
| Скорость ионной конверсии | H+ (%) | 99.9↑ | - | 99.9↑ | - |
| OH (%) | - | 97.0↑ | - | 97.0↑ | |
| CI- (%) | - | 0.1↓ | - | 0.1↓ | |
| ↓ | ↓ | ↓ | ↓ | ||
| Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | Отношение смеси: 1:1 (соотношение емкости) | ||||
| ↓ | ↓ | ||||
| Сорт | UPRM400U | UPRM420U | |||
| Тип | Смешанная смола | ||||
| Условия на выходе | Удельное сопротивление > 18,2 МОм•см (за 30 мин) △TOC < 1ppb (за 180 мин) Утечка металлов* < 0,1ppt Утечка ионов** < 1ppt | ||||
| Питательная вода: удельное сопротивление > 17,5 МОм•см, TOC < 2ppb, удел. расход 30 | |||||
